磁敏传感器国内外发展应用状况分析

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    磁敏传感器是传感器产品的一个重要组成部分，随着我国磁敏传感器技术的发展，其产品种类和质量将会得到进一步发展和提高，进军汽车、民用仪表等这些量大面广的应用领域即将实现。国产的电流传感器、高斯计等产品日前已经开始走入国际市场，与国外产品的差距正在快速缩小。

　　一、磁敏传感器的发展特点

　　1．集成电路技术的应用。将硅集成电路技术应用于磁敏传感器，制成集成磁敏传感器。

　　2．InSb薄膜技术的开发成功，使得霍尔器件产能剧增，成本大幅度下降。

　　3．强磁体合金薄膜得到广泛应用。各种磁阻器件出现，应用领域广泛。

　　4．巨磁电阻多层薄膜的研究与开发。新器件的高灵敏度、高稳定性，引起研制高密度记录磁盘读出头的科技人员的极大关注。

　　5．非晶合金材料的应用。与基础器件配套应用，大大改善了磁传感器性能。

　　6．Ⅲ—V族半导体异质结构材料的开发和应用。通过外延技术，形成异质结构，提高磁敏器件的性能。

　　二、国外磁敏传感器的现状

　　1．国外磁传感器的常见种类

　　就市场占有情况来看，国外磁敏传感器主要品种依然是霍尔元件、磁阻元件。近期的巨磁阻元件也有良好的发展空间。

　　2．外磁传感器的代表厂商：

　　·霍尔元件：日本旭化成；日本东芝；美国Honeywell公司；美国Allogro公司。

　　·磁阻器件：日本SONY公司；荷兰PHILIPS公司。

　　3．国外磁传感器的应用情况

　　磁敏传感器应用的最大特点是无接触测量。

　　·霍尔元件：

　　磁场测量，做高斯计（特斯拉计）的检测探头。

　　电流检测，做电流传感器/变送器的一次元件。

　　直流无刷电机，用于检测转子位置并提供激励信号。

　　集成开关型霍尔器件的转速/转数测量。

　　·强磁体薄膜磁阻器件：

　　位移传感器，主要有磁尺的线性长距离位移测量。

　　角位移传感器，主要用语转动角度测量，广泛应用于汽车制造业。

　　脉冲发讯传感器，主要用于流量检测和转速/转数测量，如电子水表和流量计的发讯传感器。

　　·半导体磁阻器件：

　　主要是InSb磁阻器件

　　微弱磁场检测，主要用于伪钞识别

　　脉冲测量，主要用于转速/转数测量

　　三、国内磁敏传感器的现状

　　1．国内磁传感器的常见种类及其特点

　　目前国内磁敏传感器经过三十余年的发展，就基础器件的研究与开发情况，除巨磁阻期间存有差距以外，常用其他磁敏传感器如霍尔元件，磁阻元件等已经与国外同类产品的水平相当。市场上应用的国产磁敏传感器件的种类也与国外产品相当，依然是霍尔元件、磁阻元件。

　　2．国内磁传感器件代表厂商

　　·霍尔元件：中科院半导体所，沈阳仪表科学研究院，南京中旭微电子公司。

　　·磁阻器件：沈阳仪表科学研究院（汇博思宾尼斯公司）

　　3．国内磁传感器的应用情况

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